檢索結果:共4筆資料 檢索策略: "自動化及控制研究所".dept (精準) and ckeyword.raw="壓電致動器"
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本研究發展一閉迴路微射出壓縮成形技術,並探討多尺度複合式光學元件之Fresnel繞射結構複製性。研究中以LabVIEW與電腦系統建立一控制發展平台,在此平台上控制器的設計、模擬與應用皆可整合於同一架…
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本研究旨在發展一以無桿氣壓缸(XY軸)及非對稱型單桿氣壓缸(Z軸)結合壓電致動之XY-Z三軸長行程奈米精度伺服定位系統,大行程由氣壓伺服系統進行粗定位,小行程由壓電致動器作進一步的精密補償,其中XY…
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本文旨在應用無桿氣壓缸結合壓電致動器,發展XYZ 三軸長行程奈米精度伺服定位平台與控制,大行程由氣壓伺服系統進行粗定位,小行程由壓電致動器作補償。其中X 軸為獨立軸,YZ 兩軸固定在一起,構成龍門型…
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本文旨在應用模糊滑動控制理論於非對稱型單桿氣壓缸及無桿氣壓缸並結合壓電致動器所發展出之長行程奈米精度伺服XYZ三軸定位系統與控制,大行程由氣壓伺服系統進行粗定位,小行程由壓電致動器作補償,整個定位行…